基于四探針技術(shù)的新型方塊電阻測試儀設(shè)計.pdf

1、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，晶圓摻雜的均勻性直接關(guān)系到信息產(chǎn)業(yè)尤其是集成電路的質(zhì)量。而方塊電阻是表征晶圓摻雜均勻性的重要而又直接的參數(shù)，是衡量半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的重要指標之一。目前，國際上測試硅晶圓方塊電阻的方法主要是四探針測試技術(shù)，且其智能化、自動化、集成化程度高，但國內(nèi)四探針測試儀普遍存在測試速度慢，自動化程度低，無法準確定位等不足，與國外差距較大?；诖耍菊撐闹铝τ谠O(shè)計一款自動化和集成化程度較高的、基于四探針技術(shù)的新型方塊電阻測

2、試儀。
　　本系統(tǒng)設(shè)計基于經(jīng)典的四探針技術(shù)，使用帶細分控制的步進電機驅(qū)動載片臺水平方向精確運動，采用直線電機和配重方式控制探頭垂直方向運動，以在晶圓上精確定位測點；控制方面，以 STM32單片機為核心，設(shè)計具有友好人機界面的觸摸屏實現(xiàn)對測點定位、測試量程自動匹配、自動測試和數(shù)據(jù)處理，最終以多種形式輸出結(jié)果、測量單元中，恒流源使用精密運放，配合具有20位模數(shù)轉(zhuǎn)換的電壓測量電路和以負反饋方式實現(xiàn)電流的穩(wěn)定輸出；同時，為實現(xiàn)裝置的產(chǎn)品化