基于方棱鏡的大錯(cuò)位電子散斑干涉形貌測(cè)量技術(shù)研究.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展，三維形貌測(cè)量技術(shù)在科研、醫(yī)學(xué)診斷、工程設(shè)計(jì)、刑事偵查現(xiàn)場(chǎng)痕跡分析、自動(dòng)在線檢測(cè)、質(zhì)量控制、機(jī)器人及許多生產(chǎn)過程中得到越來越廣泛的應(yīng)用，同時(shí)精度要求越來越高。例如，汽車車身、飛機(jī)機(jī)身、輪船船體等加工制造中的在線檢測(cè)。由于物體三維形貌測(cè)量技術(shù)具有重要的工業(yè)應(yīng)用價(jià)值，物體三維形貌測(cè)量技術(shù)備受各國(guó)科技人員所關(guān)注。采用光學(xué)法進(jìn)行三維形貌測(cè)量，具有非接觸和全場(chǎng)測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)在已成為國(guó)內(nèi)外研究的重點(diǎn)，并且提出

2、了多種不同的測(cè)量原理。
　　散斑干涉測(cè)量技術(shù)是光學(xué)測(cè)量技術(shù)的一個(gè)重要分支，并且由于它具有非接觸，高精度和全場(chǎng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，一直為科研人員所重視。在過去的三十多年中，除了對(duì)散斑場(chǎng)自身的特性和規(guī)律給予深入的研究外，有多種散斑測(cè)量技術(shù)逐漸發(fā)展和建立起來，并在不同的領(lǐng)域中獲得了廣泛的應(yīng)用。并且隨著激光技術(shù)，計(jì)算機(jī)技術(shù)和圖像處理技術(shù)的進(jìn)步，在散斑干涉測(cè)量中出現(xiàn)的問題也得以解決。例如在散斑干涉中采集的散斑圖中存在各種各樣的噪音，相位展開等問題得

3、到很好的解決。因此散斑干涉用于物體形貌的測(cè)量也得到了發(fā)展，已經(jīng)成為一種三維物體形貌測(cè)量的方法。
　　本文提出了一種全新的大錯(cuò)位棱鏡—大錯(cuò)位方棱鏡，并且應(yīng)用大錯(cuò)位方棱鏡作為剪切元件就大錯(cuò)位電子散斑干涉結(jié)合傅立葉變換法用于物體形貌測(cè)量進(jìn)行了研究與討論，主要內(nèi)容是:
　　1.回顧了散斑干涉計(jì)量的發(fā)展歷史；系統(tǒng)介紹了電子散斑干涉的原理及散斑干涉中的位相測(cè)量技術(shù)。
　　2.回顧了物體形貌測(cè)量的發(fā)展過程，介紹了幾種形貌測(cè)量的方法，