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文檔簡介
1、該文在第一章首先簡要介紹了MEMS技術及其在各領域的應用,介紹了硅微加速度傳感器的分類和特點,并提出了該設計的主要任務.第二章對隧道效應的基本原理作了理論上的分析和推導,描述隧道加速度傳感器的工作原理,介紹了國外隧道加速度傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀.第三閶 第二內容的基礎上,首次提出了非對稱扭擺式的隧道加速度傳感器結構,建立了相應的力學模型,推導了傳感器的性能參數(shù)并加以分析討論,最后確定了傳感器的結構尺寸.第四章根據(jù)非對稱扭擺式的傳感器結構制定了
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