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1、該文利用新型陶瓷技術(shù)、集成電路技術(shù)和厚膜平面安裝電路技術(shù),采用零力學(xué)滯后的陶瓷和陶瓷密封材料進(jìn)行設(shè)計(jì)制造了一種非充液干式的電容式壓力傳感器,采用納米級(jí)的原料,ZrO<,2>(Y<,2>O<,3>)復(fù)合增韌技術(shù)生產(chǎn)出了高質(zhì)量的陶瓷膜片,通過(guò)對(duì)CaO-MgO-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>系的瓷料相圖的分析,確定了基本的瓷料配方,并對(duì)ZrO<,2>(Y<,2>O<,3>)復(fù)合增韌機(jī)理進(jìn)行了探討.對(duì)金電極的形狀進(jìn)行了設(shè)計(jì).對(duì)附著在陶瓷
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