光電信息獲取與高精度測(cè)量系統(tǒng).pdf

1、由于微電子技術(shù)的發(fā)展，使非接觸測(cè)量發(fā)生了質(zhì)的飛躍，使得當(dāng)前測(cè)試技術(shù)向高精度、高效率和自動(dòng)化方向發(fā)展。距離的非接觸測(cè)量則是測(cè)量技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。非接觸測(cè)距方法中，基于位置敏感探測(cè)器(Position Sensitive Detector，簡(jiǎn)稱PSD)和光學(xué)系統(tǒng)測(cè)量法己成為了當(dāng)前研究的熱門。
　　 PSD是一種基于橫向光電效應(yīng)的光電子器件。它具有分辨率高、響應(yīng)速度快、信號(hào)處理簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，適用于位置、距離、位移、角度以及其他相關(guān)

2、物理量的測(cè)量。
　　 本文首先介紹了國內(nèi)外當(dāng)前對(duì)PSD的研究發(fā)展和工程應(yīng)用的現(xiàn)狀，以及傳統(tǒng)的PSD位置響應(yīng)理論。深入地分析了PSD的原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝制作、信號(hào)處理及應(yīng)用等問題。深入研究了如何提高二維PSD線性度的問題，提出了一種可以有效減小該結(jié)構(gòu)PSD位置誤差的系數(shù)修正方法，并取得了很好的結(jié)果。這些為高精度測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和制作提供了理論依據(jù)。
　　 設(shè)計(jì)了基于PSD的直管彎曲度測(cè)量硬件、軟件系統(tǒng)，詳細(xì)介紹了PSD信號(hào)