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1、南京航空航天大學碩士學位論文PZT薄膜的制備和電性質(zhì)研究姓名:曾輝申請學位級別:碩士專業(yè):光學工程指導教師:吳平201012PZT薄膜的制備和電性質(zhì)研究IIAbstractFerroelectricmaterialshaveexcellentpiezoelectricferroelectricpyroelectricpropertiesitreceivedwidespreadattentioninrecentyears.Amongthe
2、seLeadzirconatetitanate(PZT)isaperovskitestructureferroelectricmaterialwithexcellentpiezoelectricferroelectricpyroelectricpropertiesthesepropertiescanbeimprovedbychangingtheratioofZrTidoping.PZTfilmshavebeenwidelyusedinf
3、erroelectricromaccessmemy(FRAM)surfaceacousticwave(SAW)devicesinfrareddetects.TheZrrich(Zr90mol%)PZTfilmshaverichphasechangeslargespontaneouspolarizationthedielectricconstant(ε)dielectricloss(tanδ)arelowwhenthephasechang
4、eshappensoitcanbeusedininfrareddetectionhopefully.Inthispaperthepreparationprocessesofpulsedlaserdeposition(PLD)microstructuresferroelectricpyroelectricpropertiesofPb(Zr0.93Ti0.07)O3filmswereInvestigated.TheAgPZTYBCOSith
5、infilmswerepreparedbyPLD.SiwasthesubstrateAgYBCOwerethetopelectrodethebottomelectroderespectively.TheinfluencesofpreparationprocessesonmicrostructuresferroelectricpyroelectricpropertiesofPZTfilmswereinvestigatedafterthes
6、epropertieshadbeentested.TheresultsshowedthatPZTfilmspreparedintheoptimizedconditionshadexcellentmicrostructuresferroelectricpyroelectricproperties.Thepeakvalueofpyroelectriccoefficient(p)intheroomtemperaturecurietempera
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