基于ExtendSim的單晶硅生產(chǎn)線仿真與優(yōu)化研究.pdf

1、專業(yè)學(xué)位碩士學(xué)位論文基于ExtendSim的單晶硅生產(chǎn)線仿真與優(yōu)化研究楊菲菲學(xué)科專業(yè)工些工程指導(dǎo)教師呂蟹撻數(shù)拯論文答辯日期墅睦二旦二上學(xué)位授予日期2里經(jīng)二金二三Q答辯委員會(huì)主席——基于ExtendSim的單晶硅生產(chǎn)線仿真與優(yōu)化研究摘要在制造業(yè)和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛引用的技術(shù)是虛擬仿真技術(shù)。以虛擬仿真技術(shù)為基礎(chǔ)的背景下，產(chǎn)品可在動(dòng)態(tài)模擬的制造過程和工業(yè)生產(chǎn)過程看出成效，而對于實(shí)際資源來說不存在需要任何形式的損耗，對生產(chǎn)安排規(guī)劃有展望性的引導(dǎo)作用

2、。因此，引出虛擬仿真則是一種必要且可靠的手段，同樣對單晶硅生產(chǎn)線效率的提高具有重大的意義。本文以ExtendSim軟件為基礎(chǔ)，某單晶硅生產(chǎn)線為研究對象，做了以下研究工作：根據(jù)單晶硅現(xiàn)行生產(chǎn)流程，總結(jié)概括出了單晶硅生產(chǎn)線的生產(chǎn)特點(diǎn)；從精益生產(chǎn)方面，對生產(chǎn)線進(jìn)行了優(yōu)化需求分析。采用生產(chǎn)流程程序圖分析的方式，對生產(chǎn)線做了生產(chǎn)流程分析，采用5W1H(即原因Why、對象What、地點(diǎn)Where、時(shí)間When、人員Who、方法HOW)提問技術(shù)、EC

3、RS(即取消Eliminate、合并Combine、調(diào)整順序Rearrange、簡化Simpli矽)原則對單晶硅生產(chǎn)線進(jìn)行了工藝無刪減生產(chǎn)簡化?；陔x散事件的建模方式，研究了單晶硅生產(chǎn)線仿真與優(yōu)化建模的方法，構(gòu)建了生產(chǎn)線仿真評價(jià)指標(biāo)體系。利用ExtendSim軟件，采用層級仿真建模法，根據(jù)ExtendSim的特點(diǎn)概括了建模要素，對單晶硅生產(chǎn)線進(jìn)行了全面的仿真，并與實(shí)際生產(chǎn)進(jìn)行了對比驗(yàn)證。對所建立的仿真模型進(jìn)行了評價(jià)與分析，通過評價(jià)指標(biāo)體