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文檔簡介
1、數(shù)字散斑剪切干涉術(shù)是起源于散斑干涉且應(yīng)用廣泛的干涉檢測方法，將數(shù)字圖像處理和散斑剪切干涉術(shù)結(jié)合在一起，測量精度能達(dá)到幾十納米，可檢測復(fù)雜物體的面型。
本文探究了基于數(shù)字散斑剪切干涉術(shù)的物體面型的三維測試技術(shù)。實(shí)驗(yàn)采用泰曼-格林光路系統(tǒng)，通過旋轉(zhuǎn)反射鏡的方法，使物光束散斑場發(fā)生偏轉(zhuǎn)，再由CCD記錄偏轉(zhuǎn)前、后物光束和參考光束的干涉場。存儲到計(jì)算機(jī)中，對采集到的散斑干涉圖用MATLAB軟件進(jìn)行相減運(yùn)算，得到物體面型的散斑剪切干涉條紋
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