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1、本文研究了用于位移測(cè)量的數(shù)字散斑干涉術(shù)(DSPI),基于DSPI原理,設(shè)計(jì)了一種DSPI光學(xué)裝置,此裝置由泰曼一格林干涉系統(tǒng)組成,用于測(cè)量粗糙物體表面。利用該裝置進(jìn)行了數(shù)字散斑干涉實(shí)驗(yàn)研究,其基本原理是在散斑場(chǎng)中引入?yún)⒖脊?,使散斑?chǎng)與參考光干涉,用CCD接收散斑干涉條紋,輸入計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)并進(jìn)行數(shù)字圖像處理。根據(jù)散斑圖像高噪聲的特點(diǎn),提出了采用相減模式來(lái)處理圖像,即存儲(chǔ)在CCD中變形前的散斑干涉場(chǎng)的圖像和變形后的散斑干涉場(chǎng)的圖像相減并且取絕
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