單晶藍寶石基片固結磨料機械化學拋光技術.pdf

1、單晶藍寶石(α-Al2O3)具有優(yōu)良的光電性能、穩(wěn)定的化學性能、高耐磨性、高熔點和高硬度等特點，廣泛應用于光電子、通訊、國防等領域。這些應用對藍寶石的加工質量提出了很高的要求，而單晶藍寶石作為典型的硬脆材料，實現(xiàn)高效低損傷超精密加工成為阻礙其應用的主要障礙。傳統(tǒng)硬質磨料加工藍寶石時，藍寶石表面會產生崩碎、劃痕等損傷，需進一步采用化學機械拋光加工提高質量。因此，新型高效低損傷的藍寶石加工方法亟待研究和開發(fā)。
　　本文在研究了藍寶石固

2、相化學反應原理的基礎上，提出了采用固結磨料拋光盤機械化學拋光(FA-MCP)藍寶石的新工藝，研究了固結磨料拋光盤的組織結構和制作工藝。根據單晶藍寶石的材料特性和固結磨料機械化學拋光原理，研制出以MgO、SiO2、 CeO2和α-Al2O3為磨料的樹脂結合劑和氯氧鎂結合劑FA-MCP拋光盤。并以UNIPOL-1260恒壓力研磨機為平臺，通過檢測藍寶石表面粗糙度、加工損傷、三維形貌和材料去除率研究了FA-MCP拋光盤的加工性能，進行了FA-