半導體制造測試單元的產(chǎn)能規(guī)劃.pdf

1、全球半導體產(chǎn)業(yè)日趨成熟,尤其是日、美、西歐等先進國家和地區(qū)已經(jīng)進入穩(wěn)定的半導體增長時期,較之以前人們把目光更多的集中在產(chǎn)品技術的更新?lián)Q代上,如何不斷縮短半導體產(chǎn)品的設計周期,實現(xiàn)更多個性化功能,并將產(chǎn)品快速投入市場以滿足客戶需求已成為各大半導體制造商競相追逐的目標。因此產(chǎn)能規(guī)劃在整個半導體營運過程中起著極為重要的作用。
　　產(chǎn)能規(guī)劃問題長期以來一直是半導體制造業(yè)中最重要和最困難的問題之一。因為其要求在復雜的制造流程中準確預測在制品

2、的走勢,同時還必須考慮各設備的實時制造能力等約束條件。合理的產(chǎn)能規(guī)劃能夠避免千萬美金的資本支出,降低運營成本、提高設備記憶人員的利用率,從而提高車間的生產(chǎn)效率,滿足終端客戶的需求。
　　本文重點解決的是半導體制造測試單元的產(chǎn)能規(guī)劃問題。建立設備靜態(tài)產(chǎn)能模型,通過優(yōu)化設備維護周期,提高了SORT設備探針移動速度,從而提高了設備的生產(chǎn)能力9％;通過增加設備運行中的平行作業(yè)的重疊時間來改善設備利用率;在不影響質量的前提下,兼顧工程試驗,

3、質量,設備能力和設備產(chǎn)能,合理的安排設備的停機進行預防性維護和工程實驗的時間。通過上述綜合措施,對設備產(chǎn)能進行最大化的改善,實施結果表明SORT設備產(chǎn)能在生產(chǎn)線滿負荷運行狀態(tài)下從159.4片/周,提高到228.2片/周,產(chǎn)能提升了43.1%。
　　基于離散型仿真技術理論,建立生產(chǎn)系統(tǒng)在制品預測仿真系統(tǒng)WFS(Work-In-ProcessForecast System)。該系統(tǒng)根據(jù)設備實時狀態(tài)而進行動態(tài)預測在制品走勢,較之最傳統(tǒng)的

4、按照前段投片量預測流入SORT的在制品數(shù)量,以及靜態(tài)STCM(短期產(chǎn)能模型),動態(tài)在制品預測在準確性上得到了大大的提高。通過對比我們可以發(fā)現(xiàn),WFS對于在制品走勢預測的動態(tài)預測偏差一般能夠控制在15%以內,準確性相比其他方法得到了大大的提升,通過更準確地在制品走勢預測建立動態(tài)模擬,計算測試單元的產(chǎn)能需求,最后通過產(chǎn)能改善,找出各種產(chǎn)能需求下的最佳解決方案。
　　論文研究與實踐為半導體制造公司的生產(chǎn)線產(chǎn)能規(guī)劃提供了有效地理論支持和實